气体等离子体腐蚀的日文

• ガスプラズマエッチング

• 固体等离子体:    こたいプラズマ
• 低温气体等离子腐蚀:    ていおんガスプラズマエッチング
• 气体等离子区:    ガスプラズマ
• 气体腐蚀:    ガスエッチングガスふしょくガス腐食ガスエッチ
• 磁控型半导体等离子体器件:    マジスタ