正性电子束光刻胶的日文

• ポジ形電子線レジスト
  ポジがたでんしせんレジスト

• 离子束光刻:    イオンビームリソグラフィ
• 光刻胶:    フォトレジストホトレジスト
• 干膜光刻胶:    ドライフィルムホトレジスト
• 涂光刻胶:    レジストコーティング
• 相对论性电子束:    そうたいろんてきでんしビーム